چکیده پایان نامه: از بر هم نهی دو نقش دوره ای، نقش درشت تری به نام فریز ماره ایجاد می شود. تکنیک ماره بر اساس همدوسی نور مورد استفاده به دو دسته تقسیم می شود: ماره همدوس و ماره ناهمدوس. تکنیک ماره سایه که در این پایان نامه مورد بررسی قرار می گیرد شامل ماره ناهمدوس است. از فریزهای ماره در اندازه گیری ها بسیار استفاده می شود. ارزان بودن و بکار گیری آسان این تکنیک نظر بسیاری را به خود جلب کرده است. با ترکیب روش تغییر فازی با روش ماره سایه دقت اندازه گیری افزایش می یابد. توپوگرافی سطح تاثیر زیادی بر روی ویژگی های عملکردی سطوح دارد، توپوگرافی یک منطقه می تواند به شکل یا مشخصات آن از جمله: ارتفاع، فرو رفته گی، برآمدگی و... اشاره کند، به همین دلیل یکی از موارد مورد توجه در صنعت، توپوگرافی سطح اجسام می باشد. تکنیک ماره سایه، روش مناسبی برای این منظور است. به مدد توسعه روز افزون لوازم الکترونیکی تصویر برداری می توان اطلاعات سطح را با این روش ذخیره کرد و در زمان دیگر از آن استفاده کرد. یک مورد آن اندازه گیری تغییر شکل است. با دو بار اندازه گیری و مقایسه اطلاعات عددی از دو وضعیت، می توان به این هدف دست یافت. بررسی سطوح اجسام با تکنیک ماره سایه گرچه دقت روش های تداخل سنجی را ندارد اما در مواردی که نیاز به دقت بالا نیست،بسار مناسب است. این تکنیک را به دلیل مزیت هایی همچون: سرعت بالا، وسعت زیاد ناحیه مورد بررسی و ارزان بودن آن نمی توان نادیده گرفت.