چکیده: ساخت، بررسی تغییرات بافت و مطالعه خواص مکانیکی لایه های نازک فلزی نانوساختار مقدمه: لایه های نازک بطور گسترده در سیستمهای میکرو و نانوالکترومکانیک کاربرد دارند. در طی مراحل ساخت لایه های نازک و همچنین زمانی که این لایه ها بکار گرفته میشوند، تنشهای زیادی ممکن است در این لایه های گسترش یابد که میتواند منجربه تخریب یا حتی ایجاد نقص در آن شود. فهم دقیق خواص مکانیکی لایه های نازک ضریب اطمینان استفاده از آنها را ضمانت مینماید. جهتگیری بلور و شدت و قوت جهتگیری مرجح نقش بسزایی بر خواص مختلف لایه نازک از جمله خواص الکتریکی، مکانیکی و اپتیکی دارد. از همین رو لازم است که جهتگیری ترجیحی بافت لایه های نازک در ادواتی که در تابش نور، حافظه های مغناطیسی و لایه های رسانای شفاف کاربرد دارند، به دقت کنترل شود. با استفاد از تکنیکهای اندازه گیری بافت و خواص مکانیکی برپایه پراش پرتوی ایکس، نظیر تصویر قطبی و تنش پسماند، میتوان جهتگیری بلوری و ارتباط آن با خواص مکانیکی لایه نازکهارا تعیین نمود. مواد و روشها: در پژوهش حاضر بافت و خواص مکانیکی سه دسته لایه نازک فلزی مختلف در سه بخش بررسی گردیده است. در بخش اول بستگی بافت لایه نازک نقره به ضخامت و دمای بالا مورد بررسی قرار گرفت. در بخش دوم ارتباط جنس زیرلایه و بافت و خواص مکانیکی لایه های نازک سه گانه منیزیوم- مس روی مورد مطالعه قرار گرفت. در بخش آخر اثر دو پارامتر آهنگ لایه نشانی و ترکیب وزنی لایه نازک - بر بافت و خواص مکانیکی لایههای نازک تیتانیوم مس بررسی گردید. نتایج: نتایج حاصل از آنالیزهای مختلف مربوط به بافت و خواص مکانیکی در بخش اول حاکی از بستگی بافت لایه نازک به ضخامت لایه بود. قویترین بافت در لایه نازک با کمترین ضخامت مشاهده شد. در بخش دوم با تغییر جنس زیرلایه، چسبندگی سطحی لایه و به تبع آن بافت لایه نازک تغییر نمود. در بخش سوم، مشاهده شد که بافت و خواص مکانیکی لایه های نازک تیتانیوم مس کاملا به ترکیب لایه ها بستگی پیدا نمودند.
