1403/08/15
رضا زارعی مقدم

رضا زارعی مقدم

مرتبه علمی: استادیار
ارکید: https://orcid.org/0000-0001-9814-8756
تحصیلات: دکترای تخصصی
اسکاپوس: 57193359566
دانشکده: دانشکده علوم پایه
نشانی: اراک- دانشگاه اراک- گروه فیزیک
تلفن: 08632627300

مشخصات پژوهش

عنوان
بررسی تأثیر عملیات حرارتی برخواص ساختاری و اپتیکی پوشش نابازتابندۀ پهن باند 2iOT/2iOSایجادشده به روش کندوپاش پلاسما
نوع پژوهش
مقاله چاپ‌شده
کلیدواژه‌ها
anti-reflective coatings, sputtering, annealing
سال 1403
مجله مجله پژوهش فیزیک ایران ( بین المللی )
شناسه DOI
پژوهشگران حسین سلمانیان نژاد ، حسن سلمانیان نژاد ، رضا زارعی مقدم ، محمد رضا خانی ، بابک شکری

چکیده

In this article, the effect of annealing on the structural and optical properties of TiO2 and SiO2 antireflection coatings was investigated. The thin layer was placed on the silicon substrate by sputtering and then annealed for 1 hour at different temperatures. By examining the optical properties of the samples, it was observed that after annealing, the reflection from the surface in the wavelength range of 450-750 nm decreased from 2.7 to 0.23%. The refractive index of the samples also decreased after annealing. Also, by examining the structural properties of the samples, the anatase phase before annealing and the mixture of anatase and rutile and the increase in the intensity of the peaks after annealing were observed.