در این تحقیق تاثیر نقص تهی جای اکسیژن، شکل و اندازه بلورک ها بر فرایند پخش اکسیژن در استرانسیوم تیتانات با استفاده از روش دینامیک مولکولی مورد مطالعه قرار گرفته است. نانومکعب های استرانسیوم تیتانات با اندازه های مختلف و نانوسیم ها با طول های مختلف و راستای محوری [001] برای این منظور در نظر گرفته شدند. سپس نقص تهی جای اکسیژن در بازه 0 تا %5 با حذف تصادفی اتم های اکسیژن از شبکه ایجاد شد. تمام شبیه سازی ها در فشار اتمسفر و دمایK 1000 با استفاده از پتانسیل باکینگهام + کولنی انجام پذیرفت. فرایند پخش اکسیژن با تحلیل نمودارهای میانگین مربع جابه جایی بررسی گردید. مقادیر به دست آمده برای ثابت شبکه و ضریب پخش اکسیژن توافق خوبی با گزارش های تجربی داشت. نتایج نشان می دهد که در نانومکعب های منفرد، ضریب پخش اکسیژن با کاهش اندازه بلورک ها افزایش می یابد. همچنین نتایج نشان می دهد که در نانوسیم ها با افزایش طول، فرایند پخش اکسیژن افزایش می یابد.