1403/01/27
معین طاهری

معین طاهری

مرتبه علمی: دانشیار
ارکید: https://orcid.org/0000-0001-6583-3925
تحصیلات: دکترای تخصصی
اسکاپوس: 25640173900
دانشکده: دانشکده فنی مهندسی
نشانی: دانشگاه اراک، گروه مهندسی مکانیک
تلفن: 086-32625724

مشخصات پژوهش

عنوان
بررسی میزان اثرگذاری پارامترهای مختلف بر نیرو در فاز دوم نانومنیپولیشن دوبعدی
نوع پژوهش
مقاله چاپ‌شده
کلیدواژه‌ها
نانومنیپولیشن دو بعدی ای –فست میکروسکوپ نیروی اتمی فاز دوم
سال 1400
مجله مهندسي ساخت و توليد ايران
شناسه DOI
پژوهشگران فاطمه فریدونی ، معین طاهری ، مهدی مدبری فر

چکیده

منیپولیشن و جابهجایی میکرو/نانوذرات امروزه اهمیت بالایی در ساخت و تولید تجهیزات ریزمقیاس پیدا کرده است. فرآیند نانومنیپولیشن با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی، در دو فاز انجام میپذیرد. فاز نخست تا قبل از شروع به حرکت ذرات هدف را شامل میشود و هدف از آن استخراج نیرو و زمان بحرانی آغاز به حرکت میکرو/نانوذرات میباشد. در فاز دوم نیز حرکت ذرات از آغاز در مبدأ تا رسیدن به مقصد مورد بررسی قرار میگیرد. مدلسازی، شبیهسازی و بررسی پارامترهای مؤثر بر این فاز از اهمیت بالایی برخوردار است. در این مقاله به بررسی اثرات هشت پارامتر شامل شعاع ذره، شعاع سوزن، ارتفاع سوزن، طول تیرک، عرض تیرک، طول ذره، ضریب پواسون و مدول الاستیسیته بر نیرو، در فاز دوم منیپولیشن پرداخته شده است. برای این منظور در این مقاله از روش آنالیز حساسیت آماری ای-فست استفاده شده است. نتایج به دست آمده بیانگر این موضوع است که ارتفاع سوزن با 48درصد، عرض تیرک با 19درصد، مدول الاستیسیته با 14درصد و طول تیرک با 8درصد، بیشترین اثر را بر تغییرات نیرو در فاز دوم منیپولیشن خواهند داشت. در حالیکه مطابق نتایج به دست آمده، میتوان از اثرات ناچیز ناشی از تغییرات شعاع ذره، شعاع سوزن، ضریب پواسون سوزن و طول استوانهای میکرو/نانوذرات هدف چشمپوشی نمود